VA525、VA520、VA570 為 CS Instruments 所推出的固定式熱質式氣體流量計，提升半導體與先進製造的氣體管理效率
在現代先進製造與研發中心（R&D Center）中，特殊氣體的精確管理已不再僅僅是成本問題，更是品質穩定性與ESG 減碳目標的核心關鍵。德國 CS Instruments 推出的 VA 520 與 VA 525 熱質式流量計，專為精密機台製程設計，是您監看氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、二氧化碳等高價值混和氣體的首選工具。
1. 確保產品良率與製程一致性
在半導體蝕刻、擴散或電子元件封裝製程中，氣體流量的微小波動（如氮氣 N2、氫氣 H2、氬氣 Ar）都可能導致產品特性偏移。透過 VA 520/525/570 的實時流量監控，能確保每一批次的生產條件完全一致。
2. 精確監控昂貴氣體，降低隱形成本
氦氣（He）與特殊混合氣價格高昂。加裝流量計可以精確計算每個機台、每個實驗室的「真實消耗量」，不僅便於使用者付費（Cost Allocation），更能找出不必要的浪費。
3. 微小洩漏偵測與實驗安全
對於易燃的氫氣（H2）或具窒息風險的氮氣（N2）與二氧化碳（CO2），VA 520/525 優異的低流速靈敏度能第一時間發現系統洩漏，防止資源損耗並確保人員安全。
4. 符合 ISO 50001 與碳足跡申報
數位化的計量數據是企業申請節能獎勵、通過溫室氣體盤查的必備依據。VA 520/525 提供數位輸出，能輕鬆串接廠務端監控系統（BMS/EMS）。
應用於特殊氣體的優勢特色
- 直接質量流量測量熱質式原理可直接量測天然氣的質量流量，無需額外壓力與溫度補償
- 大流量範圍比適用於低流速至高流速的氣體系統，範圍比可達 1:100
- 即時監測與數據輸出支援多種通訊介面（如 Modbus RTU / TCP、4-20 mA、脈衝輸出），方便連接至能源管理系統
- 免拆管安裝/插入式可在不中斷氣體供應情況下進行安裝或維護，大幅降低停機時間與安裝成本
- 流量計具備 ATEX 防爆認證、 DVGW認證
ATEX II 2G Ex db IIC T4 Gb ATEX II 2D Ex tb IIC T90 °C, Db
典型應用場景
- 工業氣體： 壓縮空氣、氮氣 (N2)、二氧化碳 (CO2)
- 特殊/昂貴氣體： 氬氣 (Ar)、氦氣 (He)、氫氣 (H2)
- 特殊應用： 真空環境下的低壓計量
